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반도체 EUV ASML社, "2015년 스파이 사건 배후에 (삼성전자?) 있다!"
  • 이창환 이코노미톡뉴스 기자
  • 승인 2019.04.18 09:57
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▲ ASML社 EUV 장비인 NXE:3400B 장비 내부에서 반도체 웨이퍼에 회로 패턴을 그리고 있는 모습. <사진=ASML社>

[이창환 기자 @이코노미톡뉴스] 네덜란드 소재 반도체 공정 리소그래피 장비 생산업체인 ASML社가 2015년에 당한 기술탈취 사건에 대해 한국의 삼성전자가 그 배후일 수도 있다고 네덜란드 렛츠고디지털(letsgodigital) 매체가 16일날 단독 보도했다.

해당 매체는 ASML의 CEO 피터 베닝크(Peter Wennink)가 네덜란드 NOS 저널 매체와의 인터뷰에서 "우리 회사의 최대 고객사가 지난 2015년 기술착취의 스파이 사건에 대해 배후에 서 있다"고 언급한 사실을 근거로 삼았다.

인터뷰에서 베닝크는 직접적으로 삼성을 언급하지는 않았지만 ASMR의 오랜 최대 고객사는 한국의 삼성전자이다.

그는 이 사건의 배후를 밝히기 위해 외부 전문가를 통해 조사를 실시했다고 언급하면서, ASML社를 떠난 전직 직원들이 Xtal社를 세워 자신이 사용했던 소프트웨어를 훔쳐 이를 다시 최대 고객사(삼성전자)에 팔았다고 밝혔다. 이들은 모두 중국 태생이지만 중국과 미국의 국적을 소유하고 있다고 덧붙였다.

해당 소프트웨어는 반도체 생산 공정을 돕는 EUV(극자외선노광장비)의 설치와 셋업(setup)을 도와주는 프로그램이다.

4월 11일자 네덜란드 금융신문인 파이넌시엘 다그블라드(Financieele Dagblad) 매체와 일부 네덜란드 정치인이 ASML의 기술탈취 사건의 배후에 중국정부의 비호를 받는 중국 기업 둥팡징위안의 실리콘밸리 계열사인 Xtal社라고 밝힌 바 있었다. 하지만 ASML CEO 베닝크는 이는 중국 정부와는 상관이 없다고 언급했다.

▲ 지난해 8월 6일, 당시 김동연 전 경제부총리 겸 기획재정부 장관이 삼성전자 평택캠퍼스를 반도체라인을 찾았을때 이재용 삼성전자 부회장이 EUV 생산라인을 방문했던 모습. <사진=연합뉴스>

한편, 삼성전자는 2012년 ASMR社에 투자 프로그램을 통해 대만의 TSMC社를 제끼고 단독으로 지분 3%(5억 유로)의 지분 투자를 했다. 이후, 2015년에  ASMR社의 경쟁사인 Xtal社 지분 30%를 확보한 이후, 해당 기술탈취 사건이 일어난 2015년 시점 이후에는 더 이상 ASML社의 소프트웨어를 구매하지 않았다. 2016년에는 ASMR社 보유 지분을 절반 가량 매각해 이득을 봤다. 

이후 삼성전자는 다시 ASML社의 최대 고객으로 떠올라 다시 주목받았다. 삼성전자가 다시 최대 고객사가 되면서 ASML社 베닝크는 더 이상 이에 대해 언급하지 않았으며, 삼성전자가 배후일수도 있다는 언론보도가 사실이 아니라는 삼성전자 입장을 동의한다는 성명서를 발표하면서 자신이 주장했던 배후설을 철회했다. ASML사는 2015년 이후 생산 공정 보안을 위해 보안 투자금액을 4배 가까이 올렸다.

삼성전자는 7나노 반도체 공정을 위해 ASML社 등 EUV 10여대를 구매 확정한 바 있으며, 2020년 하반기까지 추가로 30대를 구매할 예정이다. 베닝크 ASML CEO는 지난해 3분기 실적 발표 자리에서 "2019년에는 EUV 장비 30대를 선적할 수 있다"고 언급한 바 있다.

EUV 장비는 1대당 약 2000억 원에 달한다. 2018년 2월부터는 삼성전자 화성공장에서 EUV의 가동을 개시한 바 있다.

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